heliInspect H4 產品系列圖

heliInspect H4

大視場亞微米解析 3D 量測系統

搭載 heliSens™ S3 3D 感測器,提供固定大視場的亞微米解析平面拓樸量測,量測快速穩定,適用多種工業檢測應用。

  • 大視野範圍:11.1 x 11.6 mm
  • 平面拓樸量測,亞微米級解析度
  • 高動態範圍設計,量測結果穩定可靠
  • 適用 3D 幾何量測、平整度、透明薄膜層厚度量測等

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heliInspect™ H4 ─大視野亞微米解析3D量測系統

大面積量測,干涉式高度解析

  • 平面拓樸量測,具可靠亞微米級解析度
  • 搭載 3D 感測器 heliSens™ S3
  • 量測速度與解析度表現卓越
  • 高動態範圍設計,確保量測結果穩定可靠
  • 固定量測視場:11.1 mm × 11.6 mm

多元應用

  • 3D 幾何量測,如階高、角度、半徑
  • 平整度與共面性檢測
  • 透明薄膜層厚度量測

軟體

heliSDK™ 軟體開發套件,內含範例程式,支援 Halcon、C++、LabVIEW、Python。heliViewer™ 可視化軟體

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