Rayfact TC

雙遠心高精度鏡頭

物側與像側皆採遠心設計，為高解析高精度檢測量測而生。

• 物 – 像兩側遠心光學系統，幾何失真極低
• 支援最高 5 µm × 16K 高解析度線掃描相機
• 可變倍率或固定倍率版本可選、且備有不同照明選項
• 適用於半導體、FPD、基板微細圖案及高精度材料檢查