產品介紹

3D專區

heliCam C3

Heliotis White Light Interferometers heliCam C3
  • 超高精度感測器,水平解析度可達11µm
    垂直解析度可達11nm
  • 採用白光干涉原理,可進行透明與高反光物體
    的3D面掃描量測
  • 內含FPGA晶片,量測速度快
  • 體積小,易於整合

 

型號 視野 垂直解析度 水平解析度 工作距離 型錄
heliCam C3 11.9x11.9mm 11µm 11µm -