產品介紹

3D專區

HeliProfiler M3

Heliotis White Light Interferometers heliprofiler M3
  • 超高精度感測器,水平解析度可達0.8µm
    垂直解析度可達1nm
  • 採用白光干涉原理,可進行透明與高反光物體
    的3D面掃描量測
  • 內含FPGA晶片,量測速度快
  • 體積小,易於整合

 

型號 視野 垂直解析度 水平解析度 工作距離 型錄
heliProfiler M3 0.232x0.222mm standard: 100nm
phase mode: 1nm
0.8µm 2.52mm
heliProfiler M3 0.580x0.556mm standard: 100nm
phase mode: 1nm
2µm 3.57mm
heliProfiler M3 1.160x1.112mm standard: 100nm
phase mode: 1nm
4µm 3.57mm